检测项目

1.波像差RMS值测量：分辨率≤0.005λ（λ=632.8nm）

2.球差系数定量分析：测量精度0.01μm

3.离焦量校准：动态范围50μm，重复性误差≤0.3μm

4.光瞳匹配度验证：相对偏差≤1.5%

5.共轭点位置偏移量测试：轴向定位精度2μm

检测范围

1.高精度光学透镜（直径Φ10-300mm）

2.显微物镜（NA≥0.65）

3.投影光刻系统物镜组

4.红外光学系统（波长3-12μm）

5.非球面/自由曲面光学元件

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件波像差测试规范

2.ASTME2175-01(2021)球面光学系统像差测量标准

3.GB/T7661-2009显微镜物镜成像质量检验方法

4.ISO9334:2019光学系统光瞳匹配测试规程

5.GB/T10988-2009光学系统共轭距测量技术规范

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，PV值测量精度λ/100

2.TriopticsImageMasterHR：MTF测量范围0-200lp/mm

3.OptikosLensCheck™APO：轴向分辨率0.1μm

4.4DTechnologyAccuFizFizeau干涉仪：动态测量速度5000帧/秒

5.NikonNEXIVVMZ-S6520坐标测量机：空间定位精度1μm+3L/1000

6.Schmidt&HaenschKOLIBRI多波长测角仪：角度分辨率0.01arcsec

7.Keysight5500激光干涉仪：线性测量范围50m

8.MitutoyoMF-U1000高倍率显微系统：放大倍率1000X