检测项目
1.膜层厚度测量:精度1nm,范围50-500nm
2.反射率测试:波长范围380-1100nm,入射角5-60
3.表面硬度检测:铅笔硬度9H-6B等级评定
4.耐磨性测试:负重500g下500次摩擦循环
5.耐腐蚀性评估:盐雾试验48小时后的表面完整性
检测范围
1.单层/多层抗反射镀膜镜头
2.红外截止滤光片镀膜元件
3.激光防护镜增透镀膜
4.真空蒸镀氟化镁硬质涂层
5.磁控溅射ITO导电薄膜
检测方法
1.ASTMB499-09《磁感应法测非磁性基底金属镀层厚度》
2.ISO9211-4:2012《光学镀膜光谱性能测试规范》
3.GB/T6739-2006《色漆和清漆铅笔法测定漆膜硬度》
4.ISO9211-3:2020《光学镀膜机械耐久性试验方法》
5.GB/T2423.17-2008《电工电子产品盐雾试验方法》
检测设备
1.FilmetricsF20系列薄膜分析仪:白光干涉法测厚精度0.5nm
2.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计:5nm分辨率反射/透射测量
3.Elcometer3096自动划格器:符合ISO2409附着力测试标准
4.Taber5135耐磨试验机:CS-10磨轮配重500g5g
5.Q-LabQ-FogCCT1100循环腐蚀箱:盐雾沉降量1-2ml/80cmh
6.BrukerDektakXT轮廓仪:0.1垂直分辨率表面形貌分析
7.ZygoNewView9000干涉仪:纳米级表面粗糙度测量
8.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪:16μm半径金刚石探针
9.AgilentNanoIndenterG200:连续刚度法硬度测量
10.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜:120nm横向分辨率三维成像