检测项目
1.光强均匀性:测量光束横截面内照度分布偏差值(2%)
2.准直度误差:评估光束发散角偏离理论值的程度(≤0.1mrad)
3.波长稳定性:监测光源中心波长漂移量(0.5nm)
4.能量密度分布:分析单位面积辐射通量(W/cm)
5.光束指向精度:测定光轴偏移角度(≤3arcsec)
检测范围
1.光学玻璃基板(厚度0.5-50mm)
2.激光二极管模组(波长405-1550nm)
3.投影显示系统(亮度≥5000流明)
4.光纤通信器件(纤芯直径9-200μm)
5.精密光学镜头(MTF值≥0.8@50lp/mm)
检测方法
ASTME1164-12:光谱辐射测量标准方法
ISO13694:2018:激光束功率密度分布测试规范
GB/T26331-2010:光学系统成像质量检验方法
ISO11145:2018:激光器参数测量与测试术语
GB/T26179-2010:光源显色性评价方法
检测设备
1.柯尼卡美能达CS-2000分光辐射度计(光谱范围380-780nm)
2.OphirSP928光束质量分析仪(分辨率19201200像素)
3.LabSphereLMS-7600积分球(直径1.5m)
4.ThorlabsBP209-IR/M红外功率计(量程10nW-10W)
5.Newport2936-R光束指向稳定仪(精度0.1μrad)
6.HamamatsuC10910-03光电探测器阵列(响应时间10ns)
7.KeysightN7744A多通道光功率计(波长范围1250-1650nm)
8.EdmundOptics59-179准直校准系统(焦距500mm)
9.OptoSigmaGBS-100高斯光束分析软件(支持ISO标准计算)
10.ZygoVerifireMST干涉仪(面形精度λ/20PV值)