检测项目
球路纹深度:测量范围0.5-50μm,分辨率0.01μm
球路纹宽度:检测区间10-500μm,误差±0.5%
纹路间距:分析周期0.1-2mm,符合ISO 13565-2标准
纹路角度:测量精度±0.1°,覆盖0-180°范围
表面粗糙度:Ra参数0.05-6.3μm,Rz参数0.1-25μm
检测范围
金属材料:轴承钢、铝合金、钛合金等精密加工件
高分子材料:PTFE密封环、尼龙齿轮等模压制品
陶瓷材料:氧化锆球阀、碳化硅轴承等烧结部件
复合材料:碳纤维/环氧树脂层压结构件
表面涂层:PVD/CVD镀膜工具、热喷涂耐磨层
检测方法
ASTM E1842:表面纹理三维特征定量分析标准
ISO 25178-2:非接触式光学测量技术规范
GB/T 10610:触针式轮廓仪测量表面结构要求
ISO 4287:表面粗糙度参数定义与测量程序
GB/T 3505:表面微观形貌术语与数据处理规范
检测设备
Bruker ContourGT-X8三维形貌仪:垂直分辨率0.1nm,配备20X~150X物镜
Keyence VK-X1000激光扫描显微镜:Z轴重复性5nm,支持1200mm²扫描区域
Zygo NewView 9000光学轮廓仪:相位偏移干涉技术,RMS重复性0.01nm
Taylor Hobson Form Talysurf i系列接触式轮廓仪:2μm半径金刚石探针,符合ISO 12179
Olympus BX53M金相显微镜:1500X光学放大,集成图像分析模块