检测项目
1.零点电压偏差：测量范围10mV，分辨率0.1μV
2.温度漂移系数：测试温区-40℃~+85℃，精度0.05℃
3.长期稳定性：连续监测1000小时以上，数据采样间隔≤5秒
4.频率响应特性：扫频范围0.1Hz-10kHz，相位误差≤0.1
5.机械应力影响：施加压力0-50N/m，位移分辨率0.01μm
检测范围
1.精密金属合金传感器元件（镍铬合金/康铜系）
2.MEMS微机电系统压力传感器模组
3.半导体应变片式称重传感器
4.高分子复合材料压电器件
5.光纤光栅温度补偿装置
检测方法
ASTME125-2018《电阻应变计静态特性测试规程》
ISO16063-21:2003《振动与冲击传感器校准方法》
GB/T13335-2018《电阻应变计温度特性试验方法》
IEC60751:2008《工业铂电阻温度计标准》
JJG391-2009《力传感器检定规程》
检测设备
1.Agilent3458A高精度数字万用表（8位分辨率）
2.Fluke754过程校准仪（支持RTD/TC信号模拟）
3.MTSC45.105电子万能试验机（载荷精度0.5%）
4.Keysight33500B函数发生器（1μHz-30MHz输出）
5.EspecPL-3KFP恒温恒湿箱（温变速率3℃/min）
6.PolytecOFV-5000激光测振仪（0.01μm/s分辨率）
7.HBMPMX数据采集系统（同步采样率200kS/s）
8.BrukerContourGT-X3白光干涉仪（垂直分辨率0.1nm）