检测项目

1.零点电压偏差：测量范围10mV，分辨率0.1μV

2.温度漂移系数：测试温区-40℃~+85℃，精度0.05℃

3.长期稳定性：连续监测1000小时以上，数据采样间隔≤5秒

4.频率响应特性：扫频范围0.1Hz-10kHz，相位误差≤0.1

5.机械应力影响：施加压力0-50N/m，位移分辨率0.01μm

检测范围

1.精密金属合金传感器元件（镍铬合金/康铜系）

2.MEMS微机电系统压力传感器模组

3.半导体应变片式称重传感器

4.高分子复合材料压电器件

5.光纤光栅温度补偿装置

检测方法

ASTME125-2018《电阻应变计静态特性测试规程》

ISO16063-21:2003《振动与冲击传感器校准方法》

GB/T13335-2018《电阻应变计温度特性试验方法》

IEC60751:2008《工业铂电阻温度计标准》

JJG391-2009《力传感器检定规程》

检测设备

1.Agilent3458A高精度数字万用表（8位分辨率）

2.Fluke754过程校准仪（支持RTD/TC信号模拟）

3.MTSC45.105电子万能试验机（载荷精度0.5%）

4.Keysight33500B函数发生器（1μHz-30MHz输出）

5.EspecPL-3KFP恒温恒湿箱（温变速率3℃/min）

6.PolytecOFV-5000激光测振仪（0.01μm/s分辨率）

7.HBMPMX数据采集系统（同步采样率200kS/s）

8.BrukerContourGT-X3白光干涉仪（垂直分辨率0.1nm）