检测项目
平面度误差：激光干涉仪测量平面波动值≤0.05mm/m
垂直度偏差：三坐标测量机检测轴线夹角误差0.02
同轴度公差：光学投影仪测定同心圆偏移量≤φ0.03mm
位置度偏移：数字图像处理系统分析特征点坐标偏差0.01mm
对称度差异：接触式探针扫描对称面间距差≤0.04mm
检测范围
机械传动部件：齿轮箱壳体、曲轴轴承座等铸件加工面
电子封装基板：BGA焊盘阵列位置精度验证
航空航天结构件：发动机叶片榫槽配合面形位公差
汽车覆盖件模具：车门钣金冲压模分型面匹配度
光学仪器组件：显微镜物镜转塔同轴定位精度
检测方法
ASTME177-14几何尺寸与公差（GD&T）测量规范
ISO1101:2017产品几何技术规范（GPS）形位公差标准
GB/T1958-2017产品几何量技术规范（GPS）形状和位置公差检测规定
ASMEY14.5-2018尺寸与公差标注体系
GB/T1182-2018形状和位置公差通则、定义、符号和图样表示法
检测设备
三坐标测量机MitutoyoCRYSTA-ApexS系列：三维空间坐标采集精度(1.9+L/250)μm
激光跟踪仪LeicaAT960：动态测量精度15μm+6μm/m
白光干涉仪ZygoNewView9000：表面形貌测量分辨率0.1nm
数字投影仪NikonV12B：光学放大倍率20X-200X可调
关节臂测量机HexagonAbsoluteArm7轴：空间重复精度0.015mm
激光平面度仪KeyenceLJ-V7000：线扫描速度64kHz
工业CT系统WerthTomoScopeHV：断层扫描分辨率3μm/voxel
电子经纬仪TrimbleS9：角度测量精度0.5″