检测项目

1.密封性能：工作压力1.0-6.5MPa下保压30分钟泄漏量≤0.05mL/min

2.耐腐蚀性：5%NaCl溶液连续喷雾96小时无点蚀/裂纹

3.流量均匀性：各喷嘴流量偏差≤3%（额定压力下）

4.材料硬度：不锈钢部件HV≥200（载荷500gf）

5.热震性能：-40℃~150℃温度冲击100次无结构损伤

6.表面粗糙度：接触面Ra≤0.8μm（轮廓仪测量）

7.抗疲劳强度：50万次脉冲压力循环后保持密封完整

检测范围

1.316L/304不锈钢高压漂洗单元

2.PTFE/PEEK材质化学介质分配器

3.氧化铝陶瓷精密雾化喷嘴组件

4.钛合金耐腐蚀循环系统

5.多层复合密封垫片组件

6.半导体晶圆清洗专用喷射模组

检测方法

ASTMD4169-22运输振动测试（ISTA3A程序）

ISO11439:2013高压容器爆破试验规程

GB/T10125-2021人造气氛腐蚀试验（盐雾试验）

ASMEBPE-2022生物工艺设备表面光洁度验证

GB/T34542.3-2017氢气系统水压爆破试验方法

ISO6507-1:2023金属材料维氏硬度试验（HV标尺）

检测设备

ATS2000气密性测试仪（0-10MPa精度0.25%FS）

Q-FOGCCT1100循环腐蚀盐雾箱（符合ASTMB117）

MalvernSpraytec激光粒度分析系统（测量粒径分布）

Instron8862动态疲劳试验机（100kN载荷容量）

BrukerContourGT-K光学轮廓仪（0.1nm垂直分辨率）

ThermoScientificARL3460直读光谱仪（金属成分分析）

FlukeTi450红外热像仪（温度场分布监测）

EmersonROC800流量计算机（0.15%体积流量精度）

Kistler4067E压力传感器（100MPa量程/0.05级精度）

ZeissAxioImager.M2m金相显微镜（5000倍显微分析）