检测项目

1.极限真空度检测：测量系统在稳定状态下可达到的最低压力值（110⁻⁴Pa~110⁻⁷Pa）

2.泄漏率测试：采用氦质谱法测定系统漏率（≤110⁻⁹Pam/s）

3.抽气速率验证：记录单位时间内的压力下降梯度（10L/s~5000L/s）

4.残余气体分析：通过四极质谱仪检测H₂O、N₂、O₂等气体分压（ppm级精度）

5.温度循环测试：验证-196℃~350℃温变条件下的密封性能

检测范围

1.金属焊接真空腔体（不锈钢/铝合金/钛合金）

2.高分子密封材料（氟橡胶/聚酰亚胺/PTFE）

3.真空镀膜设备（磁控溅射靶材/蒸镀舟）

4.低温超导器件（NbTi/Nb₃Sn超导线圈）

5.航天器推进系统（肼燃料贮箱/氙气贮罐）

检测方法

1.ASTME493-22《质谱仪检漏仪校准标准》

2.ISO3529-3:2020《真空技术词汇第3部分：真空泵》

3.GB/T3163-2022《真空技术术语》

4.GB/T6070-2021《真空法兰》密封性能测试规范

5.ASTMF1375-21《氦质谱检漏仪校准标准》

检测设备

1.AgilentUHV-24复合真空计：测量范围110⁻⁰~1000Torr

2.LeyboldPHOENIXL300i氦质谱检漏仪：灵敏度110⁻mbarL/s

3.PfeifferHPT200分子泵组：极限真空510⁻⁸mbar

4.INFICONTranspectorCPM：四极质谱残余气体分析仪

5.EdwardsTIC600涡轮分子泵：抽速600L/s（N₂）

6.MKS925型电容薄膜规：精度0.15%读数

7.VarianStarCell电离规：测量范围110⁻~110⁻⁰Torr

8.KurtJ.LeskerKJLC360M氦回收系统：回收效率≥95%

9.ShimadzuGCMS-QP2020NX：气体成分定量分析系统

10.ThermoScientificNicoletiS50FTIR：材料放气产物分析仪