检测项目
1.极限真空度检测：测量系统在稳定状态下可达到的最低压力值（110⁻⁴Pa~110⁻⁷Pa）
2.泄漏率测试：采用氦质谱法测定系统漏率（≤110⁻⁹Pam/s）
3.抽气速率验证：记录单位时间内的压力下降梯度（10L/s~5000L/s）
4.残余气体分析：通过四极质谱仪检测H₂O、N₂、O₂等气体分压（ppm级精度）
5.温度循环测试：验证-196℃~350℃温变条件下的密封性能
检测范围
1.金属焊接真空腔体（不锈钢/铝合金/钛合金）
2.高分子密封材料（氟橡胶/聚酰亚胺/PTFE）
3.真空镀膜设备（磁控溅射靶材/蒸镀舟）
4.低温超导器件（NbTi/Nb₃Sn超导线圈）
5.航天器推进系统（肼燃料贮箱/氙气贮罐）
检测方法
1.ASTME493-22《质谱仪检漏仪校准标准》
2.ISO3529-3:2020《真空技术词汇第3部分：真空泵》
3.GB/T3163-2022《真空技术术语》
4.GB/T6070-2021《真空法兰》密封性能测试规范
5.ASTMF1375-21《氦质谱检漏仪校准标准》
检测设备
1.AgilentUHV-24复合真空计：测量范围110⁻⁰~1000Torr
2.LeyboldPHOENIXL300i氦质谱检漏仪：灵敏度110⁻mbarL/s
3.PfeifferHPT200分子泵组：极限真空510⁻⁸mbar
4.INFICONTranspectorCPM：四极质谱残余气体分析仪
5.EdwardsTIC600涡轮分子泵：抽速600L/s（N₂）
6.MKS925型电容薄膜规：精度0.15%读数
7.VarianStarCell电离规：测量范围110⁻~110⁻⁰Torr
8.KurtJ.LeskerKJLC360M氦回收系统：回收效率≥95%
9.ShimadzuGCMS-QP2020NX：气体成分定量分析系统
10.ThermoScientificNicoletiS50FTIR：材料放气产物分析仪