检测项目
1.峰值功率测量：范围10kW-10MW，精度1.5%
2.脉冲宽度稳定性：时间分辨率1ns，波动率≤0.3%
3.上升/下降时间：测量范围1ns-100μs，误差50ps
4.谐波失真度：基频1MHz-6GHz范围内THD≤-40dBc
5.热稳定性测试：工作温度-40℃~+85℃，功率衰减≤5%
检测范围
1.半导体开关器件（IGBT、SiCMOSFET）
2.固态射频功率放大器模块
3.高能激光驱动电源系统
4.电磁脉冲发生装置
5.工业微波治疗设备核心组件
检测方法
ASTMF3191-16《高功率脉冲器件动态特性测试规程》
IEC62047-21:2018《半导体器件-微波功率模块测试方法》
GB/T16827-2021《脉冲功率电源通用技术条件》
GJB548B-2005《微电子器件试验方法》方法1017.1
ISO18553:2020《工业微波设备性能评估导则》
检测设备
KeysightN5193AUXG微波信号发生器：频率范围9kHz-20GHz，支持256QAM调制
TektronixDPO7254数字示波器：带宽2.5GHz，采样率40GS/s
Rohde&SchwarzFSW43信号分析仪：分析带宽40MHz，相位噪声-137dBc/Hz@10kHz
Chroma63209A-1000-120高压电源：输出0-10kV/120A，纹波＜0.05%
AgilentN1913A功率计：频率范围50MHz-40GHz，峰值功率测量精度1%
FLIRA655sc红外热像仪：热灵敏度＜30mK@30℃，空间分辨率640480
HBMGenesisHighSpeed数采系统：16通道同步采样率200MS/s/CH
AmplifierResearch1000A100C功率放大器：频率DC-1GHz，P1dB≥1000W
BehlkeHTS301-06-GSM高压开关：开关时间＜25ns，重复频率100kHz
SpellmanSL30P1200X射线源：用于器件内部放电缺陷检测