检测项目

1.定位精度：测量实际位置与理论位置的偏差值（0.01mm~0.1mm）

2.重复定位精度：连续10次定位的最大偏移量（≤0.005mm）

3.轴向正交度：X/Y/Z三轴垂直度误差（≤0.02mm/300mm）

4.回程间隙：反向运动时的机械传动间隙（≤0.003mm）

5.热变形误差：温度波动5℃时的位置漂移量（≤0.015mm）

检测范围

1.CNC加工中心主轴定位系统

2.3D打印设备成型平台基准面

3.半导体光刻机晶圆载台

4.工业机器人末端执行器零点位置

5.精密测量仪器导轨基准点

检测方法

ASTME2309-22《数控机床性能评价标准试验方法》

ISO230-2:2023《机床检验规范-第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度》

GB/T17421.2-2020《机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定》

VDI/DGQ3441:2019《统计检验规程在机床验收中的应用》

JISB6190-7:2021《机床试验方法-第7部分：定位精度》

检测设备

1.LeitzPMM-C三坐标测量机（测量范围200030001500mm，空间精度1.9μm）

2.RenishawXL-80激光干涉仪（线性测量分辨率0.001μm）

3.APIXDLaser六维激光测量系统（同时测量6自由度误差）

4.HeidenhainKGM182网格板（平面度误差≤1μm/1000mm）

5.MitutoyoMF-U系列千分表（分辨率0.1μm，量程0.5mm）

6.BallbarQC20-W无线循圆测试仪（动态轨迹误差分析）

7.KEYENCELJ-V7000线激光传感器（采样频率64kHz）

8.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂（空间精度0.025mm）

9.OGPSmartScopeFlash302多传感器系统（光学+探针复合测量）

10.SIOSSP2000激光跟踪仪（最大测距40m，角度分辨率0.01arcsec）