检测项目
1.极限真空度：测量泵在空载状态下达到的最低压力值（单位：Pa），精度要求0.5%
2.抽气速率：测试单位时间内排出气体体积（m/h），需在10⁻~10Pa压力范围内多点校准
3.泄漏率：采用氦质谱法测定系统漏率（Pam/s），灵敏度≤110⁻⁹
4.温升特性：连续运行8小时监测泵体温度变化（℃），允许温升≤45℃
5.振动噪声：依据ISO10816标准测量振动速度（mm/s）及声压级（dB(A)）
检测范围
1.旋片式真空泵：适用于油润滑单/双级结构型号
2.滑阀式真空泵：包含H-150/H-300等系列产品
3.干式螺杆真空泵：覆盖无油螺杆式工业级设备
4.液环真空泵：含单级/双级水环式系统
5.罗茨真空机组：集成主泵与罗茨增压泵的复合系统
检测方法
1.ASTME2931-13：真空泵性能测试标准方法
2.ISO21360:2007：真空技术-容积真空泵性能测量规范
3.GB/T13931-2019：油封真空泵性能测试方法
4.GB/T3163-2007：真空技术术语与图形符号
5.DIN28426：真空技术验收与运行测试规程
检测设备
1.AgilentU1253B数字压力计：量程0.1Pa~100kPa，精度0.15%
2.INFICONLDS3000氦质谱检漏仪：灵敏度110⁻Pam/s
3.Fluke975振动分析仪：频率范围5Hz~10kHz，符合ISO10816标准
4.TESTO480多功能环境测量仪：支持温度/噪声同步采集
5.LeyboldTWISTER干式校准系统：流量校准范围0.1~1000m/h
6.Keysight34465A数字万用表：6位分辨率用于精密电参数测量
7.EdwardsXT系列真空计组：覆盖10⁻⁴~1000mbar全量程监测
8.Bruel&Kjaer2270声级计：A/C计权网络符合IEC61672标准
9.PfeifferHLT260涡轮分子泵组：提供洁净测试环境背景真空
10.MKS925型气体微流量计：分辨率达110⁻⁸Pam/s