检测项目
1.透光率测试:波长范围380-780nm可见光波段透过率≥92%,测量精度0.5%
2.折射率测定:采用632.8nm氦氖激光光源测量折射率偏差≤0.0005
3.表面粗糙度检测:Ra值≤0.8nm(RMS≤1.2nm),扫描面积55μm
4.热膨胀系数测试:温度范围-40℃~+85℃,CTE≤710⁻⁶/℃
5.环境耐久性试验:85℃/85%RH条件下持续1000小时透过率衰减≤3%
检测范围
1.聚碳酸酯(PC)光学隔板:厚度0.5-10mm平板/曲面结构件
2.石英玻璃隔板:直径φ20-φ300mm高精度光学窗口
3.PMMA导光板:微结构表面V型槽深度50-200μm
4.蓝宝石晶体隔板:晶向(0001)面取向偏差≤0.5
5.复合多层镀膜隔板:AR膜层厚度公差3nm(总层数≤15层)
检测方法
ASTMD1003-21透明塑料透光率和雾度测定方法
ISO13697:2019光学元件反射率绝对测量法
GB/T7962.5-2010无色光学玻璃测试第5部分:折射率温度系数
ISO10110-8:2020光学元件表面粗糙度评价规范
GB/T2423.3-2016电工电子产品环境试验湿热试验方法
检测设备
PerkinElmerLambda1050+双光束分光光度计:波长范围175-3300nm,分辨率0.05nm
ZYGONewView9000白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm,横向分辨率0.55μm
MitutoyoCMMCRYSTA-ApexS三坐标测量机:空间精度(1.9+L/250)μm
BrukerContourGT-X3光学轮廓仪:512512像素CCD,Z轴重复性0.01nm
NetzschDIL402ExpedisClassic热膨胀仪:温度范围-160℃~2000℃,分辨率0.125nm/K
ESPECPL-3J恒温恒湿箱:温控精度0.5℃,湿度偏差2%RH
SUSSMicroTecMaskAlignerMA8双面对准系统:对准精度0.25μm
OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜:1200012000像素扫描分辨率