检测项目

1.透光率测试:波长范围380-780nm可见光波段透过率≥92%,测量精度0.5%

2.折射率测定:采用632.8nm氦氖激光光源测量折射率偏差≤0.0005

3.表面粗糙度检测:Ra值≤0.8nm(RMS≤1.2nm),扫描面积55μm

4.热膨胀系数测试:温度范围-40℃~+85℃,CTE≤710⁻⁶/℃

5.环境耐久性试验:85℃/85%RH条件下持续1000小时透过率衰减≤3%

检测范围

1.聚碳酸酯(PC)光学隔板:厚度0.5-10mm平板/曲面结构件

2.石英玻璃隔板:直径φ20-φ300mm高精度光学窗口

3.PMMA导光板:微结构表面V型槽深度50-200μm

4.蓝宝石晶体隔板:晶向(0001)面取向偏差≤0.5

5.复合多层镀膜隔板:AR膜层厚度公差3nm(总层数≤15层)

检测方法

ASTMD1003-21透明塑料透光率和雾度测定方法

ISO13697:2019光学元件反射率绝对测量法

GB/T7962.5-2010无色光学玻璃测试第5部分:折射率温度系数

ISO10110-8:2020光学元件表面粗糙度评价规范

GB/T2423.3-2016电工电子产品环境试验湿热试验方法

检测设备

PerkinElmerLambda1050+双光束分光光度计:波长范围175-3300nm,分辨率0.05nm

ZYGONewView9000白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm,横向分辨率0.55μm

MitutoyoCMMCRYSTA-ApexS三坐标测量机:空间精度(1.9+L/250)μm

BrukerContourGT-X3光学轮廓仪:512512像素CCD,Z轴重复性0.01nm

NetzschDIL402ExpedisClassic热膨胀仪:温度范围-160℃~2000℃,分辨率0.125nm/K

ESPECPL-3J恒温恒湿箱:温控精度0.5℃,湿度偏差2%RH

SUSSMicroTecMaskAlignerMA8双面对准系统:对准精度0.25μm

OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜:1200012000像素扫描分辨率