检测项目

纯度检测：NF3体积分数≥99.99%（电子级基准值）

杂质气体分析：O2≤5ppm、N2≤10ppm、CF4≤15ppm

水分含量测定：H2O≤1ppm（露点≤-76℃）

颗粒物检测：≥0.1μm颗粒≤1个/cm³

腐蚀性测试：铜片腐蚀等级≤1级（100℃/24h）

氟化物残留：总氟离子≤0.5μg/g

同位素丰度：δ15N≤±0.5‰（稳定同位素质控）

检测范围

电子级NF3气体（纯度≥99.99%）

半导体生产环境气体（洁净室/管路系统）

高压钢瓶/ISO容器储运介质

废气处理系统分解产物

工业级合成原料气体

回收提纯工艺中间体

检测方法

ASTM D8085-19：气相色谱法测定NF3中O2/N2/CF4

ISO 21258:2010：傅里叶红外光谱法检测含氟杂质

GB/T 37244-2018：电子特种气体痕量分析通则

SEMI C3.40-0217：颗粒物激光散射计数法

GB/T 5832.2-2016：电解法测定气体中微量水分

ASTM D7358-14：质谱法同位素比值测定

JIS K0106:2021：离子色谱法氟离子检测

检测设备

Agilent 8890气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器，分辨率0.1ppm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与三氟化氮检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。