检测项目

1.振幅灵敏度校准：测量频率范围10^-4Hz至10^4Hz内位移分辨率≤110^-20m/√Hz

2.频率响应特性分析：验证0.1mHz-10kHz频段内系统增益误差＜0.5dB

3.相位噪声测试：评估1Hz偏移处相位噪声≤-120dBc/Hz

4.热机械噪声抑制：控制300K环境下布朗运动噪声＜510^-19m/√Hz

5.激光频率稳定性验证：实现1064nm激光器线宽≤1Hz@1s积分时间

检测范围

1.高反射率镜面材料：超低损耗介质膜反射镜（反射率＞99.9995%）

2.低噪声光电探测器：InGaAs光电二极管（暗电流＜1pA）

3.超稳激光系统：Nd:YAG非平面环形振荡器（功率波动＜0.1%）

4.真空隔离装置：10^-9Pa级超高真空腔体（振动传递率＜-60dB）

5.地震隔离平台：主动隔振系统（共振频率＜0.1Hz）

检测方法

1.ISO16063-21:2003振动与冲击传感器校准方法

2.ASTME1441-19激光干涉仪系统性能评估标准

3.GB/T30111-2013空间光学元件面形精度测试规范

4.ISO10109-7:2017光学系统环境适应性试验规程

5.GB/T38634-2020精密测量仪器电磁兼容性要求

检测设备

1.KeysightN9030B信号分析仪：支持0Hz-50GHz频率分析，相位噪声测量精度0.3dB

2.ZygoVerifireMST干涉仪：波长稳定性0.01pm，面形测量精度λ/1000

3.StanfordResearchSR785动态信号分析仪：双通道FFT分析，动态范围＞120dB

4.Agilent3458A数字万用表：8.5位分辨率，100kS/s采样率

5.PolytecMSA-600微系统分析仪：非接触式振动测量，带宽DC-24MHz

6.KeysightE5063A网络分析仪：5Hz至18GHz矢量网络分析功能

7.ThorlabsPDH激光稳频系统：频率稳定度＜110^-13@1s

8.Bruel&Kjaer8306型超低频振动台：位移分辨率0.1nm@0.01-100Hz

9.LeyboldTURBOVAC361分子泵组：极限真空度510^-10mbar

10.NewportI-2000隔振平台：主动隔振带宽0.6-200Hz，衰减率＞40dB/decade