检测项目
1.光斑直径测量：范围0.5-5mm@1m距离，精度0.05mm
2.发散角计算：测量范围0.1-10mrad，分辨率0.01mrad
3.能量分布均匀性：中心区域5%偏差值
4.M因子测定：范围1.0-3.0@632.8nm波长
5.波前畸变分析：PV值≤λ/4@633nm
检测范围
1.激光加工设备（切割/焊接头）
2.光学薄膜涂层元件
3.光纤通信器件（准直器/耦合器）
4.医疗激光治疗仪
5.空间光调制器组件
检测方法
ASTME284-17《StandardTerminologyforAppearance》
ISO11146-1:2021《激光束宽度与发散角测试》
GB/T15313-2008《激光术语和定义》
GB7247.1-2012《激光产品安全标准》
ISO13694:2018《激光束功率密度分布测量》
检测设备
1.SpiriconLBA-FW-SCOR-XO：光束分析仪（分辨率19201200）
2.OphirSP928-3C：高功率激光探头（30kW/cm）
3.ThorlabsBP209-IR/M：M测量系统（波长范围350-1550nm）
4.HamamatsuC11440-50G：红外CCD相机（InGaAs传感器）
5.ZygoVerifireMST：干涉仪（λ/20精度）
6.CoherentBeamView：实时光斑分析软件
7.Newport1918-R：功率能量计（量程20mW-20kW）
8.DataRayWinCamD-LCM：紫外增强型相机（190-1100nm）
9.Gentec-EOXLP12-3S-H2-D0：水冷式功率计
10.PIS-116B10K：六维精密调整架（1μm定位精度）