检测项目

表面洁净度：微粒数量（≥0.5μm颗粒≤3520/m³）、化学残留（TOC≤500μg/cm²）

微生物污染：沉降菌（≤1CFU/皿·4h）、表面微生物（≤5CFU/25cm²）

材料耐腐蚀性：酸碱浸泡后失重率（≤0.5mg/cm²）

气流与压差：单向流风速（0.36-0.54m/s）、压差梯度（≥5Pa）

密封性能：泄漏率（≤0.25%/h）

检测范围

不锈钢材质：304/316L不锈钢工作台面、管道

环氧树脂地面：自流平地面、防静电地板

PVC墙面材料：抗菌型墙板、焊接接缝

玻璃隔断系统：钢化玻璃、硅酮密封胶条

聚氨酯密封材料：门框密封条、设备接口密封

检测方法

ASTM E1217-21 表面洁净度光学粒子计数法

ISO 14644-1:2015 洁净室悬浮粒子分级标准

GB/T 2591-2021 洁净厂房微生物检测规范

ISO 8502-9:2020 表面可溶性盐污染测定

GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范

检测设备

Lighthouse 3016-IAQ型激光粒子计数器（0.3-10μm检测）

Elcometer 456涂层测厚仪（0-2000μm分辨率）

Merck MAS-100 NT微生物采样器（50-100L/min流量）

TSI 8386风速计（0-30m/s量程）

Agilent 7890B气相色谱仪（TOC分析精度0.1μg/L）