检测项目
1.表面粗糙度:Ra值测量范围0.05-6.3μm,Rz值测量精度5%
2.微观形貌复现率:三维轮廓匹配度≥95%
3.硬度传递系数:肖氏硬度(ShoreA/D)偏差≤3%
4.厚度均匀性:膜层厚度公差0.5μm
5.缺陷密度:表面凹坑/凸起缺陷≤5个/cm
检测范围
1.金属模具复制件:包含铝合金压铸模、不锈钢精密冲压模等
2.光学级高分子材料:PC/PMMA导光板、COP透镜基材
3.纳米压印光刻胶:线宽分辨率50-200nm的微结构复制体
4.陶瓷烧结体:氧化锆齿科修复体、氮化硅轴承组件
5.柔性电子器件:ITO薄膜触控传感器、OLED显示基板
检测方法
1.ASTMD4417-2014:表面轮廓测量标准方法
2.ISO4287:1997:几何产品规范(GPS)表面结构轮廓法
3.GB/T4340.1-2009:金属维氏硬度试验第1部分
4.ISO25178-2:2021:三维表面纹理分析规范
5.GB/T29552-2013:纤维增强复合材料层合板厚度测定
检测设备
1.TaylorHobsonTalysurfPGI3D:0.8nm分辨率轮廓仪
2.MitutoyoSJ-410:0.01μm精度表面粗糙度测量仪
3.BrukerContourGT-X3:白光干涉三维形貌分析系统
4.ZwickRoellZHU2.5:0.3%精度显微硬度计
5.OlympusDSX1000:20-7000倍数码显微镜
6.KeyenceVK-X3000:激光共聚焦扫描显微镜
7.Instron5967:0.5级精度万能材料试验机
8|ZeissSmartproof5:12nm垂直分辨率共聚焦显微镜
9|Agilent5500:原子力显微镜(AFM)
10|HexagonAbsoluteARM:7轴联动三坐标测量机