检测项目
表面粗糙度(Ra值):测量范围0.1-25μm,分辨率0.001μm
峰谷高度差(Rz值):检测精度5%,量程0.5-100μm
波纹度(Wt值):分析波长0.08-8mm的周期性起伏
轮廓算术平均偏差(Rq值):基于ISO4287标准计算
纹理方向角度(θ):角度测量误差≤0.5
检测范围
金属材料:铝合金板材、不锈钢冲压件、钛合金铸件
高分子材料:注塑成型塑料件、聚碳酸酯薄膜
陶瓷制品:氧化锆基板、氮化硅轴承
光学元件:透镜模仁、棱镜抛光面
复合材料:碳纤维层压板、玻璃钢构件
检测方法
接触式轮廓法:ASTMD4417标准触针测量法
白光干涉法:ISO25178非接触三维重建技术
激光共聚焦法:GB/T29558-2013高精度扫描规范
原子力显微术:GB/T31227-2014纳米级形貌分析
数字图像相关法:ISO16610滤波处理流程
检测设备
TaylorHobsonTalysurfPGI3D:接触式三维轮廓仪,量程120mm120mm1mm
BrukerContourGT-X3:白光干涉仪,垂直分辨率0.1nm
KeyenceVR-6000:激光共聚焦显微镜,最大倍率20000
MitutoyoSJ-410:便携式粗糙度仪,符合JISB0601标准
ZeGagePlusMX:全自动非接触式测量系统,重复精度0.5nm
AliconaInfiniteFocusG5:高景深光学测量仪,Z轴分辨率10nm
NanoFocusμsurfC:共聚焦三维扫描仪,扫描速度50mm/s
MarSurfLD260:多探头复合测量系统,支持Ra/Rz/Rt多参数同步分析
OlympusLEXTOLS5000:激光显微系统,符合ISO25178标准
ZygoNewView9000:相移干涉仪,最大视场25mm25mm