检测项目

表面粗糙度(Ra值):测量范围0.1-25μm,分辨率0.001μm

峰谷高度差(Rz值):检测精度5%,量程0.5-100μm

波纹度(Wt值):分析波长0.08-8mm的周期性起伏

轮廓算术平均偏差(Rq值):基于ISO4287标准计算

纹理方向角度(θ):角度测量误差≤0.5

检测范围

金属材料:铝合金板材、不锈钢冲压件、钛合金铸件

高分子材料:注塑成型塑料件、聚碳酸酯薄膜

陶瓷制品:氧化锆基板、氮化硅轴承

光学元件:透镜模仁、棱镜抛光面

复合材料:碳纤维层压板、玻璃钢构件

检测方法

接触式轮廓法:ASTMD4417标准触针测量法

白光干涉法:ISO25178非接触三维重建技术

激光共聚焦法:GB/T29558-2013高精度扫描规范

原子力显微术:GB/T31227-2014纳米级形貌分析

数字图像相关法:ISO16610滤波处理流程

检测设备

TaylorHobsonTalysurfPGI3D:接触式三维轮廓仪,量程120mm120mm1mm

BrukerContourGT-X3:白光干涉仪,垂直分辨率0.1nm

KeyenceVR-6000:激光共聚焦显微镜,最大倍率20000

MitutoyoSJ-410:便携式粗糙度仪,符合JISB0601标准

ZeGagePlusMX:全自动非接触式测量系统,重复精度0.5nm

AliconaInfiniteFocusG5:高景深光学测量仪,Z轴分辨率10nm

NanoFocusμsurfC:共聚焦三维扫描仪,扫描速度50mm/s

MarSurfLD260:多探头复合测量系统,支持Ra/Rz/Rt多参数同步分析

OlympusLEXTOLS5000:激光显微系统,符合ISO25178标准

ZygoNewView9000:相移干涉仪,最大视场25mm25mm