检测项目
曲率半径误差:公差范围0.05mm~0.005mm(依据精度等级)
表面粗糙度:Ra≤5nm(高精度级)至Ra≤20nm(工业级)
中心厚度偏差:允许误差0.03mm~0.01mm
面形精度:PV值≤λ/4@632.8nm(λ为测试波长)
透射波前畸变:RMS≤λ/20@632.8nm
检测范围
光学玻璃柱面透镜(N-BK7、H-K9L等)
石英玻璃紫外柱面透镜
塑料聚合物非球面柱镜(PMMA、PC材质)
激光加工用柱面聚焦镜组
医疗内窥镜柱面成像镜头
检测方法
ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定
ASTME903-12材料透射率光谱测试
GB/T2831-2009光学零件表面粗糙度测定方法
ISO12123:2017光学玻璃材料均匀性测试
GB/T7661-2009光学零件面形偏差检验方法
检测设备
ZygoVerifireHDX激光干涉仪:曲率半径测量精度0.001mm
TaylorHobsonPGI1240轮廓仪:表面粗糙度分辨率0.1nm
TRIOPTICSOptiCentric双光路中心仪:厚度测量重复性1μm
MitutoyoSURFTESTSJ-410接触式粗糙度仪:Ra量程0.01-50μm
ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计:透射率测试波长范围185-3300nm
4DTechnologyPhaseCam6000动态干涉仪:面形PV值测量精度λ/100
CMMVisionFlash500光学坐标测量机:三维尺寸误差0.5μm
NewportLPX系列准直光源系统:波前畸变测试基准光源