检测项目

1.焦点偏移量：测量X/Y/Z轴方向位移偏差（0.1μm精度）；
2.光斑直径：计算1/e能量分布直径（范围0.5-50mm）；
3.焦深特性：测定瑞利长度与能量衰减曲线（5%误差限）；
4.光束质量因子：M值计算（依据ISO11146标准）；
5.功率密度分布：二维能量分布图（空间分辨率1μm/pixel）

检测范围

1.光学镜头：包括非球面透镜、菲涅尔透镜等；
2.激光加工设备：光纤激光器、CO₂激光切割机；
3.精密光学薄膜：AR/IR镀膜元件；
4.医疗激光器械：眼科手术激光系统；
5.光通信器件：光纤耦合器、准直器组件

检测方法

1.ASTME2847-21《激光束直径测量标准实践》；
2.ISO13694:2018《激光束功率密度分布测试规范》；
3.GB/T15313-2008《激光术语和定义》；
4.ISO11145:2016《激光器参数测试通则》；
5.GB/T26189-2010《激光光束宽度测试方法》

检测设备

1.OphirSP928光束分析仪：CCD分辨率19201080，波长范围190-1700nm；
2.PrimesFocusMonitor：轴向分辨率0.05μm，最大功率10kW；
3.ZYGOVerifire干涉仪：PV值测量精度λ/100；
4.CoherentBeamView分析系统：采样率10kHz，M计算模块；
5.ThorlabsBP209-IR2光斑分析仪：支持Φ15mm光斑直径测量；
6.KeyenceLM-9000激光位移计：线性度0.02%F.S.；
7.NewportLBP2-HE高能光束分析仪：承受功率密度50kW/cm；
8.HamamatsuC10633红外相机：InGaAs传感器（900-1700nm）；
9.JenoptikCinCamCMOS相机：帧率150fps@全分辨率；
10.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：横向分辨率10nm