检测项目
1.电阻率测试:测量20℃下电阻率范围(13-16μΩcm),偏差值≤5%
2.熔点测定:验证纯度≥99.95%时熔点(2996℃15℃)
3.抗拉强度测试:室温条件下≥345MPa,高温(1200℃)≥120MPa
4.表面氧化层厚度:阳极氧化膜厚度20-50μm(XRF法测量)
5.热膨胀系数:20-1000℃范围内(6.5-7.5)10⁻⁶/℃
检测范围
1.钽丝加热元件(直径0.1-3.0mm)
2.钽箔发热体(厚度0.05-0.5mm)
3.钽钨合金加热棒(Ta含量≥70%)
4.真空镀膜用钽坩埚(容积50-500mL)
5.溅射靶材钽基板(纯度99.99%-99.999%)
检测方法
1.ASTMB365:钽及钽合金化学成分分析
2.ISO7625:烧结金属材料密度测定
3.GB/T14841:金属材料高温拉伸试验方法
4.ASTME112:晶粒度测定标准
5.GB/T4339:金属材料热膨胀特性测试规范
检测设备
1.LCR测试仪(KeysightE4980AL):测量电阻率及阻抗特性
2.高温热机械分析仪(NETZSCHTMA402F3):热膨胀系数测定
3.场发射扫描电镜(HitachiSU5000):微观结构及晶界分析
4.万能材料试验机(Instron5985):高温/常温力学性能测试
5.X射线荧光光谱仪(ThermoScientificARLQUANT'X):元素成分定量分析
6.激光导热仪(LinseisLFA1600):热扩散系数测量
7.真空退火炉(Centorr6A-18):高温热处理后性能评估
8.四探针测试仪(LucasLabsPro4):薄层电阻率测定
9.金相显微镜(OlympusGX53):氧化层厚度观测
10.质谱检漏仪(LeyboldUL200):真空器件密封性检测