检测项目

1.定位精度：测量实际位置与理论位置的偏差值（0.001~0.05mm）

2.重复定位精度：连续10次运动至同一坐标的最大偏移量（≤0.005mm）

3.轴向垂直度：X/Y/Z三轴间夹角误差（≤3角秒）

4.动态响应特性：加速度达2g时的轨迹跟踪误差（≤0.02mm）

5.热变形补偿：温度变化10℃时的位置漂移量（≤0.003mm/℃）

检测范围

1.数控机床主轴与导轨系统

2.工业机器人末端执行器

3.半导体光刻机晶圆台

4.汽车发动机缸体加工面

5.航空航天用涡轮叶片榫槽

检测方法

ASTME2919-18线性位移传感器校准规范

ISO230-2:2014机床检验通则第2部分：数控轴定位精度

GB/T17421.2-2016数控机床位置精度检验方法

VDI/DGQ3441统计过程控制中的位置特性评价

JISB6190-6:2017工业机器人性能测试规范

检测设备

HexagonGlobalS三坐标测量机：配备HP-L-8.9激光扫描头，空间测量精度1.5μm+L/250

RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量分辨率0.001μm，最大测量距离80m

APIXDLaser六维激光跟踪仪：6自由度测量精度15μm+5μm/m

KEYENCELJ-V7000线激光传感器：采样频率64kHz，Z轴分辨率0.1μm

MitutoyoCrysta-ApexS三坐标测量机：搭载MH20i测头系统，重复性0.3μm

BallbarQC20-W回转仪：符合ISO230-4标准，动态半径误差分析1μm

PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：位移分辨率0.04pm/√Hz

ZEISSACCURAII桥式测量机：配备VASTXTgold扫描传感器，空间精度1.9+L/300μm

Optodyne激光多普勒测距仪：线性测量不确定度0.5ppm

FAROVantage激光跟踪仪：绝对测距精度10μm+5μm/m