检测项目
1.露点温度测量精度：量程-80℃至+60℃，分辨率0.1℃
2.湿度响应时间：20%~80%RH阶跃变化时响应≤15秒
3.温度补偿特性：-40℃~85℃范围内线性误差≤1.5%RH
4.长期稳定性测试：连续工作500小时漂移量＜2%RH
5.交叉灵敏度验证：对CO₂、VOC等干扰气体响应偏差＜0.5℃露点当量
检测范围
1.高分子聚合物电容式湿度敏感元件
2.金属氧化物半导体陶瓷敏感元件
3.氧化铝薄膜电阻式传感器
4.MEMS集成式温湿度复合传感器
5.光纤布拉格光栅露点传感器
检测方法
ASTME337-15标准双温法湿度发生器系统校准
ISO4677-1饱和盐溶液静态湿度平衡法
GB/T11605-2005温湿度传感器动态响应测试规程
IEC60751ClassAA级铂电阻温度基准比对法
JJF1076-2020湿度传感器校准规范多点线性修正法
检测设备
1.MichellS8000RS精密露点仪：量程-100~+20℃td，精度0.1℃
2.VaisalaHMK15双压法湿度发生器：温度控制0.01℃，湿度稳定度0.05%RH
3.EspecSH-642恒温恒湿箱：温度范围-70~+150℃，湿度范围10%~98%RH
4.Fluke754过程校准仪：支持四线制RTD测量，基本精度0.01%
5.Keysight34972A数据采集系统：6位高精度扫描测量模块
6.MKS1479B气密性测试仪：氦质谱检漏灵敏度达510⁻Pam/s
7.ThermoScientificHeratherm烘箱：温度均匀性0.8℃@150℃
8.AmphenolTelaire7001动态配气系统：气体混合精度1%设定值
9.BronkhorstEL-FLOWPrestige气体质量流量控制器：控制精度0.5%RD+0.1%FS
10.Agilent4294A精密阻抗分析仪：频率范围40Hz至110MHz，基本精度0.08%