检测项目
1.纹路深度测量：分辨率0.1μm，测量范围5-200μm
2.主纹宽度分析：精度0.5μm，标定长度0.05-2mm
3.次级分支密度：单位面积计数（个/mm），误差≤3%
4.表面粗糙度Ra值：取样长度0.8mm，评定长度4mm
5.对称性偏差：角度公差0.5，径向偏移量≤1.2%
检测范围
1.航空级钛合金发动机叶片表面处理层
2.精密轴承钢热处理后的微观组织表征
3.陶瓷基复合材料热障涂层的界面结构
4.高分子聚合物薄膜压印成型表面
5.光学玻璃镜片镀膜层应力分布
检测方法
ASTME3-2019金相试样制备标准第7.4节微观形貌制样
ISO4287:2020几何产品规范(GPS)表面结构轮廓法测量规范
GB/T13925-2010铸造铝合金金相检验方法附录C特殊缺陷判定
GB/T3488.3-2018硬质合金显微组织的金相测定第3部分：孔隙度与缺陷评定
ISO25178-604:2013非接触式共聚焦显微镜测量表面特性技术规范
检测设备
1.奥林巴斯DSX1000数码显微镜：配备20-7000倍物镜组，支持三维形貌重构
2.泰勒霍普森FormTalysurfi系列轮廓仪：垂直分辨率0.8nm，符合ISO3274标准
3.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜：405nm激光光源，Z轴重复精度0.02μm
4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：1200万像素CMOS传感器，扫描速度15mm/s
5.ZEISSSigma500场发射电镜：配备EDS能谱仪，工作距离3-30mm可调
6.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：16μm半径金刚石探针，符合JISB0651标准
7.AliconaInfiniteFocusG5焦点变化系统：轴向分辨率10nm，最大倾斜角85
8.NikonEclipseLV150N金相显微镜：12位彩色CMOS相机，支持微分干涉对比
9.HitachiTM4000Plus桌面电镜：15kV加速电压下实现5nm分辨率观测
10.SensofarSneox三维光学轮廓仪：采用PSI/VSI混合测量技术，扫描速度25fps