检测项目

1.极限真空度测定：采用全压力测量法，精度0.5%FS（量程110⁻⁴Pa~110Pa）

2.抽气速率验证：在10Pa~1000Pa区间进行动态流量校准，误差≤3%

3.泄漏率测试：氦质谱检漏法灵敏度达110⁻Pam/s

4.温升特性分析：连续运行8小时监测轴承温度（测温范围-50℃~300℃）

5.振动频谱诊断：三轴加速度计采集0.1Hz~10kHz频段数据

6.噪声水平评估：A计权声压级测量（30dB~130dB）

检测范围

1.金属壳体及内部构件（不锈钢/铝合金/钛合金）

2.橡胶密封圈（丁腈橡胶/氟橡胶/全氟醚材质）

3.陶瓷转子组件（氧化铝/氮化硅基复合材料）

4.高分子过滤器（PTFE/PEI多孔介质）

5.润滑油系统（矿物油/合成酯类/全氟聚醚油品）

检测方法

ASTMD7282-21《真空泵性能试验规程》抽气速率标定

ISO21360-1:2012《真空泵测量方法》极限压力测定

GB/T13931-2017《水环真空泵试验方法》温升试验

ISO1608-2:2020《容积真空泵噪声测量规范》声功率级计算

GB/T32294-2015《真空技术泄漏检测方法》氦质谱检漏实施

检测设备

1.PfeifferVacuumASM340氦质谱检漏仪（检出限510⁻mbarL/s）

2.EdwardsTIC系列热阴极电离规（测量范围110⁻⁰~110Torr）

3.AgilentU2000A功率分析仪（带宽100kHz,精度0.05%）

4.Bruel&Kjaer2270型声级计（符合IEC61672Class1标准）

5.Keysight34972A数据采集系统（6位分辨率,300通道）

6.OerlikonLeyboldDIVAC0.1数字电离真空计（重复性0.3%）

7.FlukeTi450红外热像仪（热灵敏度≤0.03℃）

8.PolytecPDV-100激光测振仪（非接触式测量,分辨率0.02μm/s）

9.MKS925型电容薄膜规（精度0.12%读数,量程1mTorr~1000Torr）

10.ShimadzuAGX-V电子万能试验机（载荷容量50kN,位移分辨率0.001mm）