散焦因子检测

检测项目

1.激光束直径测量：包含1/e直径（D4σ）和刀口法测量值（D86.5%），精度0.5μm

2.发散角测定：全角测量范围0.1-50mrad，重复性误差≤0.05mrad

3.M因子计算：基于ISO11146标准二阶矩算法，测量不确定度≤3%

4.波前畸变分析：PV值≤λ/10（λ=632.8nm），RMS≤λ/50

5.焦深特性测试：轴向分辨率0.1μm，扫描范围5mm

检测范围

1.高功率激光器输出镜组（Nd:YAG/CO₂/光纤激光器）

2.精密光学镜头（显微物镜/远心镜头/F-theta镜头）

3.光通信器件（WDM耦合器/光纤准直器）

4.半导体光刻系统投影物镜

5.航天级红外光学系统（中波/长波红外镜头）

检测方法

1.ISO11146-1:2021《激光束宽度、发散角和光束传播比的测试方法》

2.GB/T16601-2017《激光光束质量评价测试方法》

3.ASTME933-09(2020)《激光束直径测量标准规程》

4.ISO15367-1:2003《激光束波前畸变的测定》

5.GB/T26183-2010《光学系统杂散光系数测量方法》

检测设备

1.Ophir-SpiriconBeamGage6：CCD分辨率19201080，波长范围190-1700nm

2.PrimesFocusMonitorFM：最大功率密度10kW/cm，采样率100kHz

3.ThorlabsBP209-IR/M：M测量专用系统，支持波长900-2200nm

4.ZygoVerifireMST：干涉仪精度λ/1000PV值，孔径Φ150mm

5.DataRayWinCamD-LCM：四象限探测器阵列，动态范围80dB

6.CoherentModeMasterUltra：自相关仪脉宽测量范围0.1ps-10ns

7.HamamatsuC10910D：热释电阵列传感器，响应时间10μs

8.PhotonBeamScan2000：实时波前分析系统，Zernike系数解析至36项

9.NewportLBP2-HE：高能激光束分析仪，承受功率密度达10MW/cm

10.KeysightN7788B：集成式光波分析模块，支持单模/多模光纤输入

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"散焦因子检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。