检测项目
光谱响应范围:波长覆盖200-1100nm,分辨率≤1nm
灵敏度测试:最小可检测光强≤0.1μW/cm²
响应时间:上升时间/下降时间≤10μs(@650nm)
线性度误差:≤±1.5%(满量程范围内)
暗电流参数:≤1nA(25℃@反向偏压5V)
温度稳定性:灵敏度漂移≤0.05%/℃(-40℃~85℃)
检测范围
半导体光电器件:光电二极管、光电晶体管
成像传感器:CMOS、CCD图像传感器
光敏电阻:硫化镉(CdS)、硒化铅(PbSe)基器件
红外探测器:InGaAs、HgCdTe传感器
集成光模块:光纤通信接收器、激光功率监测单元
检测方法
光谱响应测试:ASTM E1021-15(量子效率测量)
响应时间校准:ISO 16505:2019(动态特性评估)
线性度分析:GB/T 15651-2020(半导体光电器件测试规范)
暗电流测量:IEC 60747-5-3:2020(光电二极管特性参数)
温度循环测试:MIL-STD-883H Method 1010.9(环境适应性验证)
检测设备
光谱分析系统:Ocean Optics USB4000+,波长精度±0.3nm
光强可调光源:Newport 66984,输出范围0.01-100mW/cm²
高速响应测试仪:Keysight B2902A,时间分辨率10ns
暗电流测试仪:Keithley 6517B,电流测量下限0.1pA
温控测试箱:ESPEC SH-641,温控范围-70℃~150℃
积分球系统:Labsphere LMS-7600,均匀性>98%(直径500mm)