检测项目
厚度公差：±0.02mm（激光测厚仪测量）
平面平整度：≤0.05mm/m（光学干涉法检测）
绝缘电阻：≥1012Ω（25℃/50%RH环境）
耐压强度：AC 2kV/1min无击穿（电极间距5mm）
表面粗糙度：Ra≤0.8μm（轮廓仪扫描评估）
热膨胀系数：≤8×10-6/K（-40℃~150℃）
耐腐蚀性：5%NaCl溶液喷雾96h无氧化
检测范围
金属合金压板：包括铝合金（6061-T6）、铜镀镍等导电材料
陶瓷基压板：氧化铝（Al2O3≥95%）、氮化铝（AlN）基板
聚合物复合材料：PTFE/玻纤增强型、PEEK基工程塑料
石墨基压板：等静压石墨（粒度≤10μm）
多层复合压板：金属-陶瓷烧结件（层厚≥0.2mm/层）
检测方法
厚度检测：ASTM B499（接触式测厚法）、GB/T 11344（超声波法）
平整度测试：ISO 12181-2（圆形平面度评定）、GB/T 11337（平面度误差计算）
绝缘性能：IEC 60243（耐压测试）、ASTM D257（体积电阻率）
表面分析：ISO 4287（粗糙度参数定义）、GB/T 3505（轮廓法测量）
热性能测试：ASTM E831（热膨胀系数）、GB/T 10295（热导率测定）
耐腐蚀试验：ISO 9227（中性盐雾）、ASTM B117（加速腐蚀）
检测设备
Mitutoyo LSM-500激光测厚仪：非接触式厚度测量（精度±0.5μm）
Zygo Verifire干涉仪：平面度检测（分辨率0.1nm）
Keysight B2987A高阻计：绝缘电阻测试（量程103-1016Ω）
Hipotronics ACW-5000耐压测试仪：0-5kV交流耐压检测
Taylor Hobson Form Talysurf轮廓仪：表面粗糙度分析（Ra检测范围0.01-50μm）
Netzsch DIL 402热膨胀分析仪：-150℃-500℃热变形测量
Q-Fog CCT盐雾箱：符合ASTM B117循环腐蚀测试