检测项目
1.平面反射面角度偏差：测量范围30角分，分辨率≤0.1角秒
2.导轨直线度误差：最大行程2000mm，重复性误差≤0.5μm/m
3.棱镜直角偏差：精度等级Ⅰ级（≤3角秒），Ⅱ级（≤10角秒）
4.平行光管光轴平行度：允许偏差≤2角秒/100mm
5.转台回转轴线垂直度：轴向跳动量≤0.001mm/100mm
检测范围
1.光学玻璃：包括棱镜、平面镜及分光镜等镀膜元件
2.金属导轨：精密机床线性导轨、航空发动机叶片定位面
3.半导体晶圆：光刻机工件台平面度与定位精度
4.复合材料：航天器天线反射面形位公差
5.精密仪器：激光干涉仪基准镜组校准
检测方法
ASTME1964-03《StandardPracticeforUseofLaserandOpticalEquipmentinAngleMeasurement》
ISO9039:2008《Opticsandphotonics-Qualityevaluationofopticalsystems》
GB/T17421.2-2016《机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定》
GB/T11162-2009《光学分度头》中自准直仪校准规范
ISO10110-5:2015《光学和光子学光学元件和系统制图准备第5部分:表面形状公差》
检测设备
1.TaylorHobsonAutocollimatorModel2000：量程1000角秒，分辨率0.01角秒
2.TriopticsColliTest3000：双光路设计，支持动态角度测量（0-360）
3.ZygoVeriFireMST干涉仪集成自准直模块：波长632.8nm，精度0.05λ
4.NikonNEXIVVM-500影像测量系统：配备高精度十字线分划板（刻度精度1μm）
5.Keysight5530动态校准仪：线性测量范围30角分，频率响应DC-100Hz
6.MitutoyoAA-10自动准直仪：内置CCD传感器（20482048像素），采样率10Hz
7.RenishawXL-80激光干涉系统：搭配角度反射镜组件（15量程）
8.OptodyneLDDM系列激光多普勒测距仪：位移分辨率0.1nm，兼容自准直模式