检测项目

1.光学中心偏差：轴向偏移量≤0.02mm，径向偏移量≤0.015mm（依据ISO10110-6）

2.透射率性能：400-700nm波段透过率≥98.5%（GB/T26332-2010）

3.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（Zygo干涉仪测量）

4.畸变率控制：全视场畸变≤0.05%（ASTME430-11）

5.焦距误差：标称值0.1%（激光干涉法测量）

6.镀膜附着力：通过5N/cm划格试验（ISO9211-4）

检测范围

1.天文望远镜物镜（Φ200mm以上非球面镜片）

2.工业级线扫描相机镜头（Φ80-150mm）

3.激光切割机聚焦镜（Φ50-100mm镀膜镜片）

4.投影光刻机光学组件（Φ300mm以上高均匀性镜组）

5.医疗内窥镜物镜（Φ8-20mm微型广角镜头）

6.航天遥感相机镜头（Φ150-400mm超轻量化设计）

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定标准

2.GB/T9917-2008光学零件表面粗糙度测试方法

3.ASTME430-11(2021)光学元件透射率测量标准

4.ISO14997:2012光学元件应力双折射检测规范

5.GB/T26332-2010光学薄膜激光损伤阈值测试方法

6.DIN3140-7:2019光学系统成像分辨率测试规程

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪：面形精度PV值测量（λ/50精度）

2.PerkinElmerLambda1050分光光度计：380-2500nm宽谱段透射率分析

3.MitutoyoCMMCRYSTA-ApexS三坐标测量机：几何尺寸0.8μm精度

4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：表面粗糙度0.1nm分辨率

5.OptikosLensCheckMTF测试系统：空间频率达200lp/mm的MTF分析

6.TriopticsImageMasterHR偏心仪：中心偏差0.005mm测量精度

7.NewportAGILIS六轴调整架：高精度装夹定位系统

8.ThorlabsBP209-VIS光束分析仪：光斑直径及能量分布测试

9.SCHOTTKL2500LED冷光源：均匀性照明系统（色温5600K100K）

10.KeysightN7788B偏振分析仪：双折射量测灵敏度0.01nm/cm