检测项目

1.光学中心偏差:轴向偏移量≤0.02mm,径向偏移量≤0.015mm(依据ISO10110-6)

2.透射率性能:400-700nm波段透过率≥98.5%(GB/T26332-2010)

3.表面粗糙度:Ra≤0.5nm(Zygo干涉仪测量)

4.畸变率控制:全视场畸变≤0.05%(ASTME430-11)

5.焦距误差:标称值0.1%(激光干涉法测量)

6.镀膜附着力:通过5N/cm划格试验(ISO9211-4)

检测范围

1.天文望远镜物镜(Φ200mm以上非球面镜片)

2.工业级线扫描相机镜头(Φ80-150mm)

3.激光切割机聚焦镜(Φ50-100mm镀膜镜片)

4.投影光刻机光学组件(Φ300mm以上高均匀性镜组)

5.医疗内窥镜物镜(Φ8-20mm微型广角镜头)

6.航天遥感相机镜头(Φ150-400mm超轻量化设计)

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定标准

2.GB/T9917-2008光学零件表面粗糙度测试方法

3.ASTME430-11(2021)光学元件透射率测量标准

4.ISO14997:2012光学元件应力双折射检测规范

5.GB/T26332-2010光学薄膜激光损伤阈值测试方法

6.DIN3140-7:2019光学系统成像分辨率测试规程

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪:面形精度PV值测量(λ/50精度)

2.PerkinElmerLambda1050分光光度计:380-2500nm宽谱段透射率分析

3.MitutoyoCMMCRYSTA-ApexS三坐标测量机:几何尺寸0.8μm精度

4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪:表面粗糙度0.1nm分辨率

5.OptikosLensCheckMTF测试系统:空间频率达200lp/mm的MTF分析

6.TriopticsImageMasterHR偏心仪:中心偏差0.005mm测量精度

7.NewportAGILIS六轴调整架:高精度装夹定位系统

8.ThorlabsBP209-VIS光束分析仪:光斑直径及能量分布测试

9.SCHOTTKL2500LED冷光源:均匀性照明系统(色温5600K100K)

10.KeysightN7788B偏振分析仪:双折射量测灵敏度0.01nm/cm