检测项目
1.轴向平行度偏差：测量轴线与基准面的平行度误差（≤0.02mm/m）
2.径向跳动量：旋转部件最大径向偏移量（≤0.015mm）
3.端面垂直度：端面与轴线的垂直度公差（≤0.01mm）
4.孔径椭圆度：内孔最大直径差（≤0.008mm）
5.表面波纹度：周期性表面起伏高度（Ra≤0.4μm）
检测范围
1.精密机械主轴组件（含轴承安装位）
2.液压阀体多级配合孔系
3.涡轮发动机叶片榫槽结构
4.光学仪器调焦螺纹副
5.半导体设备真空腔体密封面
检测方法
ASTMB89-20圆柱体几何量测量规范
ISO1101:2017几何产品技术规范(GPS)
GB/T1958-2017产品几何量技术规范(GPS)形状和位置公差检测规定
ISO12180-2:2011圆柱度测量方法
GB/T11336-2004直线度误差检测
检测设备
1.ZeissACCURA三坐标测量机：配备VASTXTgold扫描探头（分辨率0.1μm）
2.MitutoyoLH-600高精度圆度仪：径向测量精度0.01μm
3.TaylorHobsonTalyrond585LT圆柱度仪：轴向测量范围500mm
4.KeyenceLJ-V7000激光位移计：采样频率392kHz/通道
5.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm
6.MahrFederalMarSurfLD260轮廓仪：Z轴分辨率1nm
7.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度15μm+6μm/m
8.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：垂直分辨率10nm