检测项目

1.轴向平行度偏差：测量轴线与基准面的平行度误差（≤0.02mm/m）

2.径向跳动量：旋转部件最大径向偏移量（≤0.015mm）

3.端面垂直度：端面与轴线的垂直度公差（≤0.01mm）

4.孔径椭圆度：内孔最大直径差（≤0.008mm）

5.表面波纹度：周期性表面起伏高度（Ra≤0.4μm）

检测范围

1.精密机械主轴组件（含轴承安装位）

2.液压阀体多级配合孔系

3.涡轮发动机叶片榫槽结构

4.光学仪器调焦螺纹副

5.半导体设备真空腔体密封面

检测方法

ASTMB89-20圆柱体几何量测量规范

ISO1101:2017几何产品技术规范(GPS)

GB/T1958-2017产品几何量技术规范(GPS)形状和位置公差检测规定

ISO12180-2:2011圆柱度测量方法

GB/T11336-2004直线度误差检测

检测设备

1.ZeissACCURA三坐标测量机：配备VASTXTgold扫描探头（分辨率0.1μm）

2.MitutoyoLH-600高精度圆度仪：径向测量精度0.01μm

3.TaylorHobsonTalyrond585LT圆柱度仪：轴向测量范围500mm

4.KeyenceLJ-V7000激光位移计：采样频率392kHz/通道

5.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm

6.MahrFederalMarSurfLD260轮廓仪：Z轴分辨率1nm

7.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度15μm+6μm/m

8.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：垂直分辨率10nm