检测项目
1.表面平整度：PV值≤λ/10（λ=632.8nm），RMS≤λ/50
2.角度偏差：直角误差≤3"，邻面垂直度≤5"
3.透射波前畸变：波前误差≤λ/4@633nm
4.材料均匀性：折射率变化Δn≤510⁻⁶
5.镀膜性能：增透膜R≤0.25%@设计波长，损伤阈值≥5J/cm（1064nm,10ns）
检测范围
1.光学玻璃棱镜（H-K9L,ZF6,FusedSilica等）
2.晶体棱镜（CaF₂,MgF₂,α-BBO等）
3.激光系统用直角转向棱镜
4.红外光学棱镜（Ge,ZnSe,Si等）
5.光纤通信DWDM滤波棱镜
检测方法
1.ISO10110-5:2015表面缺陷等级评定
2.ASTME903-12透射率光谱测试法
3.GB/T7661-2009直角棱镜角度偏差测量规范
4.ISO14997:2011光学表面散射特性测试
5.GB/T26323-2010光学晶体均匀性干涉测量法
检测设备
1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，精度λ/1000PV值测量
2.TriopticsOptiAngleUA200：角度分辨率0.1"，最大样品尺寸200mm
3.ShimadzuUV-3600iPlus：光谱范围185-3300nm，分辨率0.1nm
4.NewportAutoAlign系统：自动准直精度0.5μm
5.PrismsMasterUV-VIS-NIR分光光度计：190-2500nm全波段测试
6.MitutoyoCMMCRYSTA-ApexS：三坐标测量精度(1.7+3L/1000)μm
7.ThorlabsPAX1000偏振分析仪：消光比测量范围0-40dB
8.OphirPE50-CAL激光功率计：最大功率50W，响应时间0.3s
9.Agilent4294A阻抗分析仪：频率范围40Hz-110MHz
10.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm