检测项目
线性度误差检测（量程±0.05% F.S.）
重复性精度测试（标准差≤0.1μm）
温度漂移特性（-20℃~80℃范围，±0.01% F.S./℃）
动态响应时间（阶跃信号响应≤1ms）
信号稳定性（24小时漂移量＜0.005% F.S.）
检测范围
金属材料：铝合金导轨、不锈钢传动部件
复合材料：碳纤维增强聚合物结构件
精密机械：数控机床主轴、高精度轴承
电子元件：微型伺服电机、柔性电路板
光学组件：激光反射镜组、光纤准直器
检测方法
ASTM E2309-22 线性位移传感器温变性能测试
ISO 13374-3:2023 机械振动状态监测标准
GB/T 13992-2020 电阻应变式传感器检定规程
ISO 10110-7:2021 光学元件表面形貌检测
GB/T 26193-2018 光纤传感器通用技术条件
检测设备
Keysight N7788B 光波元件分析仪（光谱分辨率0.01nm）
Fluke 754 过程校准器（电流输出精度±0.01% RD）
MTS Systems 370.02 液压伺服试验机（载荷范围±25kN）
Olympus LEXT OLS5000 激光共聚焦显微镜（Z轴分辨率1nm）
Espec SH-261 恒温箱（温度波动度±0.5℃）