原束发散度检测

检测项目

1.半角发散角测量：精度0.05mrad@1m测量距离

2.束斑直径分析：分辨率≤5μm（CCD成像法）

3.光强分布均匀性：偏差值≤3%（ISO11146标准）

4.M因子计算：重复性误差＜1.5%

5.束腰位置定位：轴向定位精度0.1mm

检测范围

1.高功率激光器（1064nm/532nm/355nm波段）

2.电子加速器输出束流（能量范围0.5-10MeV）

3.光纤耦合半导体激光模块（输出功率5-500W）

4.光学镀膜材料（损伤阈值＞5J/cm@1064nm）

5.激光晶体（Nd:YAG/YVO4/LBO等非线性晶体）

检测方法

ASTME977-2015激光束发散角标准测试方法

ISO11146-1:2021激光束宽度、发散角和光束传播比的测定

GB/T13740-2017激光辐射光束直径测试方法

GB/T31359-2015半导体激光器测试方法

IEC60825-1:2014激光产品安全等级评估规范

检测设备

1.Ophir-SpiriconBeamGagePro：CCD成像系统（分辨率19201200），支持ISO标准M计算

2.CoherentModeMasterUltra：波长范围190-2100nm，动态范围70dB

3.ThorlabsBP209-IR/M：红外光束分析仪（900-1700nm），采样率30Hz

4.HamamatsuC10910-03：电子束剖面监测器（灵敏度0.1-300nC/cm）

5.PhotonInc.BeamScopeP1000：实时发散角监测（精度0.02mrad）

6.KeysightN7788B光波分量分析仪：支持多模光纤输出检测

7.NewportLBP2-HE：高能激光束分析仪（最大功率10kW）

8.DataRayWinCamD-LCM：紫外增强型CCD（200-400nm响应）

9.Gentec-EOBeam'R：紧凑式M测量仪（重复性1%）

10.CinogyCINCamCMOS-1201：高速光束诊断系统（帧率5000fps）