氧化室检测

检测项目

1.温度均匀性检测：测量腔体内部2℃范围内的温度波动值

2.湿度控制精度检测：监测相对湿度偏差≤3%RH的稳定性

3.氧气浓度梯度分析：测定0.1%-21%vol范围内的浓度分布均匀性

4.氧化层厚度测量：采用非接触式测厚仪进行0.1-500μm量程检测

5.表面元素成分分析：通过EDS能谱仪检测O元素含量≥5wt%的渗透深度

检测范围

1.金属合金材料：包括不锈钢、钛合金等高温部件材料的抗氧化性能测试

2.半导体晶圆：8/12英寸硅片表面氧化膜质量评估

3.高分子复合材料：耐候性测试中氧化老化程度的定量分析

4.陶瓷基复合材料：航空发动机热端部件抗氧化涂层性能验证

5.光学镀膜材料：镜面保护层在氧化环境中的透光率衰减测试

检测方法

ASTMB827-10(2020)：腐蚀试验用标准实施规程

ISO9227:2022：人造大气腐蚀试验-盐雾试验

GB/T13303-1991：钢的抗氧化性能测试方法

ASTMG54-20：应力腐蚀开裂敏感性测试标准

GB/T15970.7-2017：金属和合金的腐蚀试验第7部分：高温氧化试验

检测设备

1.ThermoScientificHerathermOGS60恒温箱：温度范围50-300℃，波动度0.5℃

2.MettlerToledoSevenExcellencepH计：湿度测量精度0.8%RH

3.HoribaEMGA-920氧氮分析仪：气体浓度分辨率0.01ppm

4.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：厚度测量精度0.05μm

5.BrukerQUANTAX200EDS系统：元素分析能量分辨率129eV

6.KeysightB1505A功率器件分析仪：漏电流测试灵敏度1nA

7.NetzschSTA449F5同步热分析仪：热重分析精度0.1μg

8.ZwickRoellZ100万能试验机：应力测试载荷范围0.5N-100kN

9.PerkinElmerLambda1050+紫外分光光度计：透光率测量波长范围175-3300nm

10.HitachiSU5000场发射电镜：表面形貌观测分辨率1nm@15kV

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"氧化室检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。