检测项目
1.折射率分布均匀性:测量波长范围380-1600nm,精度0.0002
2.双折射率偏差:分辨率达0.1nm/cm,量程0-50nm/cm
3.透射波前畸变:PV值测量精度λ/20(λ=632.8nm)
4.应力致光程差:检测灵敏度0.1nm,最大量程5000nm
5.表面面形误差:RMS重复性≤0.5nm@100mm口径
检测范围
1.光学玻璃:包括K9、熔融石英、镧系玻璃等材质透镜与棱镜
2.树脂镜片:CR-39、聚碳酸酯等聚合物光学元件
3.功能性薄膜:AR增透膜、ITO导电膜等镀层产品
4.晶体材料:氟化钙、硅酸钇镥等闪烁晶体光学件
5.复合材料:树脂基光纤预制棒、梯度折射率材料
检测方法
ASTMD542-14《透明塑料折射率测试标准》
ISO13666:2019《眼科光学-未切割成品镜片规范》
GB/T7962.5-2010《无色光学玻璃测试方法第5部分:应力双折射》
ISO10110-5:2015《光学和光子学光学元件和系统制图要求第5部分:表面形状公差》
GB/T1800.3-2020《产品几何技术规范(GPS)线性尺寸公差ISO代号体系第3部分:标准公差带与孔、轴极限偏差表》
检测设备
1.ZYGOVerifireMST激光干涉仪:波长632.8nm,最大检测口径Φ300mm
2.HindsInstrumentsExicor150IR双折射测量系统:波长范围400-1600nm
3.PerkinElmerLambda950分光光度计:光谱分辨率0.05nm@UV-VIS-NIR
4.TriopticsOptiCentric双光路中心偏差仪:角度分辨率0.1arcsec
5.MitutoyoCV-3200轮廓仪:Z轴重复精度0.02μm
6.OlympusSTM7测量显微镜:最大放大倍率5000X
7.BrukerContourGT-K光学轮廓仪:垂直分辨率0.1nm
8.ThorlabsPAX1000偏振分析仪:波长范围400-1100nm
9.ShimadzuAIM-9000红外应力仪:温度控制范围-50℃~300℃
10.KeysightCary7000全能型分光椭偏仪:入射角调节精度0.001