检测项目
1.光斑尺寸测量:包含1/e直径(0.5-50mm)、椭圆度误差(≤3%)
2.能量密度分布:测试范围100-5000W/cm@532nm/1064nm波长
3.焦深特性分析:轴向分辨率0.01mm,测量范围5mm
4.透射率测试:波长范围380-2500nm,精度0.5%
5.像散校正量:最大可测像差2λ(λ=632.8nm)
6.热稳定性测试:温度循环范围-40℃~+120℃,持续48小时
检测范围
1.菲涅尔透镜:厚度0.5-10mm的PMMA/PC材质光学元件
2.抛物面反射镜:口径50-5000mm的铝/银镀膜镜面
3.光纤耦合器:纤芯直径200-1000μm的熔融石英器件
4.激光聚焦系统:含Nd:YAG/CO₂激光器的光学组件
5.太阳能集热管:硼硅玻璃管(直径70-125mm)
6.微透镜阵列:单元尺寸10-500μm的硅基/玻璃基阵列
检测方法
ASTME1175:使用辐射测量法测定材料透射率与反射率
ISO13694:激光束宽度、发散角及光束传播比的测试规范
GB/T26183:光学系统杂散光系数测量方法
ISO10110-5:表面缺陷等级评定标准(适用于λ/10精度光学元件)
GB/T13323:光学零件表面粗糙度测量(Ra≤0.01μm)
ISO11145:激光束参数测试的术语与定义标准
检测设备
1.OphirSP928积分球:光谱响应范围190-2100nm,功率测量精度3%
2.ThorlabsBP209-IR/M光束分析仪:支持1064nm波长,最大分辨率12801024像素
3.Newport2936-R功率计:量程50nW-3W,响应时间0.1s
4.ShimadzuUV-3600分光光度计:带宽0.1-8nm可调,波长精度0.2nm
5.ZygoVerifire干涉仪:PV值测量精度λ/100(λ=632.8nm)
6.FLIRSC8000红外热像仪:热灵敏度15mK@30℃,空间分辨率1.1mrad
7.KeysightN7788B偏振分析仪:波长范围1260-1640nm,消光比测量60dB
8.LabsphereLMS-7600光谱辐射计:动态范围300-2500nm,积分时间1ms-10s可调