微悬检测

检测项目

1.位移分辨率：测量精度0.1nm~10nm（基于激光干涉原理）
2.共振频率范围：1Hz~10MHz（含一阶至五阶模态分析）
3.动态线性度误差：≤0.5%F.S.（满量程50μm内）
4.疲劳寿命测试：循环次数110⁶~110⁹次（载荷0.1mN~10mN）
5.温度漂移系数：≤0.05%℃⁻（-40℃~150℃温控环境）

检测范围

1.MEMS器件：加速度计陀螺仪悬臂梁
2.生物医学传感器：AFM探针/细胞力学测试芯片
3.半导体材料：硅基/氮化镓微悬臂结构
4.高分子薄膜：PDMS/PET柔性悬臂组件
5.纳米涂层材料：金刚石/DLC镀层界面结合力测试

检测方法

1.ASTME2533-17：非接触式振动测量标准
2.ISO14839-3:2006：旋转机械振动评价规范
3.GB/T11349.1-2018：机械阻抗测试方法
4.ISO19685:2017：微机电系统可靠性试验
5.GB/T34876-2017：纳米压痕硬度测量通则

检测设备

1.激光多普勒测振仪（PolytecMSA-650）：频响DC-25MHz
2.原子力显微镜（BrukerDimensionIcon）：Z轴分辨率0.02nm
3.动态力学分析仪（TAQ800）：载荷范围0.001mN~18N
4.高低温试验箱（EspecTSE-11-A）：温变速率5℃/min
5.纳米压痕仪（HysitronTIPremier）：位移传感器0.0002nmRMS
6.数字图像相关系统（CorrelatedSolutionsVIC-3D）：应变测量精度0.005%
7.精密阻抗分析仪（KeysightE4990A）：频率范围20Hz~120MHz
8.真空探针台（CascadeSummit12000B）：真空度≤510⁻⁶Torr
9.高速摄像机（PhotronSA-Z）：帧率2,500,000fps@256256
10.微力测试系统（FemtoToolsFT-FS1000）：量程100mN/分辨率50nN

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"微悬检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。