检测项目

1.流量范围：0.5-50L/min（1%精度）

2.真空度测试：-95kPa至常压（分辨率0.1kPa）

3.压力波动值：≤2%FS（满量程）

4.吸附保持时间：≥30min（真空衰减率＜5%）

5.系统泄漏率：≤110⁻⁴Pam/s

检测范围

1.金属管道及焊接件气密性检测

2.塑料制品真空成型质量评估

3.医疗器械密封包装完整性验证

4.汽车燃油系统负压保持能力测试

5.半导体封装腔体泄漏率测定

检测方法

ASTMF1004-21真空衰减法密封测试标准

ISO10648-2:1994密封容器检漏试验规范

GB/T15171-2021软包装件密封性能试验方法

GB4208-2017外壳防护等级（IP代码）测试

ISO13478:2007流体输送系统快速裂纹扩展测试

检测设备

1.AgilentADM2020：高精度数字压力计（量程-100~200kPa）

2.INFICONELT3000：氦质谱检漏仪（灵敏度110⁻mbarL/s）

3.MensorCPC6050：自动压力控制器（精度0.01%FS）

4.TSI4046：热式质量流量计（0.05-100SLPM）

5.EdwardsSTP-451：双级旋片真空泵（极限真空510⁻mbar）

6.FestoVADM-100：真空发生器组件（响应时间＜50ms）

7.KeyenceGT-H10：激光位移传感器（分辨率0.1μm）

8.OmegaDP25B：差压变送器（量程250Pa）

9.SMCZSE30F：真空压力开关（设定精度0.5%）

10.Fluke725S：多功能过程校准仪（24位A/D转换）