检测项目

1.曲率半径误差：测量范围0.05mm至5mm

2.表面粗糙度：Ra≤5nm（可见光波段）

3.焦距偏差：允许公差0.1%（焦距＞100mm）

4.反射率均匀性：波长532nm时波动值＜0.5%

5.透射波前畸变：PV值≤λ/4（λ=632.8nm）

检测范围

1.光学玻璃球面镜（K9、H-K9L、ZF系列）

2.石英玻璃紫外透镜（JGS1/JGS2/JGS3）

3.红外硫系玻璃非球面镜（Ge/ZnSe/AMTIR-1）

4.树脂模压非球面镜（PMMA/PC材料）

5.金属基底反射镜（铝合金/铍铜合金）

检测方法

ASTME903-20：采用积分球法测量反射率与透射率

ISO10110-5:2015：光学元件表面缺陷等级评定

GB/T7661-2009：焦距测量三点共轭法

ISO14997:2018：干涉法表面形貌分析

GB/T2831-2009：光学零件曲率半径检验规程

检测设备

ZygoVerifire™MST干涉仪：曲率半径测量精度0.005%

TaylorHobsonPGIOptics轮廓仪：表面粗糙度分辨率0.1nm

TriopticsOptiCentric双光路测焦仪：焦距测量精度0.01mm

BrukerContourGT-X3白光干涉仪：波前畸变分析精度λ/100

ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：190-2500nm透射率测试

MitutoyoSurftestSJ-410粗糙度仪：Ra测量范围0.01-50μm

4DTechnologyPhaseCam干涉仪：动态振动环境表面检测

NewportOMM-6810B光学机械测试台：装调误差≤3μm

OceanInsightFX2000光纤光谱仪：350-2500nm反射率快速测量

LeicaDCM8共聚焦显微镜：三维形貌重建精度0.5nm