检测项目

1.涂层厚度：测量范围0.1-500μm，精度0.05μm（依据ISO2360）

2.表面电阻：测试电压100V-1000V（符合ASTMD257标准）

3.附着力等级：划格法0-5级评定（GB/T9286）

4.耐盐雾性能：中性盐雾试验500-3000小时（GB/T10125）

5.热稳定性：高温老化测试（200℃5℃，持续168小时）

检测范围

1.半导体晶圆用临时键合胶膜

2.柔性电路板聚酰亚胺基材

3.光学镜头防反射镀膜

4.医疗器械抗菌涂层

5.航空航天复合防护涂层

检测方法

1.X射线荧光光谱法（ISO3497）测定元素组成

2.电化学阻抗谱法（ASTMG106）评估防腐性能

3.激光共聚焦显微镜（GB/T35089）分析三维形貌

4.热重分析仪（GB/T19466）测定热分解温度

5.四点探针法（GB/T1551）测量方阻值

检测设备

1.FischerXDL-B超精密测厚仪：分辨率0.01μm

2.KeysightB2902A精密源表：最小电流分辨率10fA

3.Q-FogCCT1100循环腐蚀箱：温控精度0.5℃

4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm

5.NetzschSTA449F3同步热分析仪：升温速率0.01-50K/min

6.Agilent4294A阻抗分析仪：频率范围40Hz-110MHz

7.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：测量长度175mm

8.Instron5944万能材料试验机：最大载荷50kN

9.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：1200万像素CCD

10.ThermoScientificK-AlphaXPS系统：空间分辨率7μm