检测项目
1.涂层厚度：测量范围0.1-500μm，精度0.05μm（依据ISO2360）
2.表面电阻：测试电压100V-1000V（符合ASTMD257标准）
3.附着力等级：划格法0-5级评定（GB/T9286）
4.耐盐雾性能：中性盐雾试验500-3000小时（GB/T10125）
5.热稳定性：高温老化测试（200℃5℃，持续168小时）
检测范围
1.半导体晶圆用临时键合胶膜
2.柔性电路板聚酰亚胺基材
3.光学镜头防反射镀膜
4.医疗器械抗菌涂层
5.航空航天复合防护涂层
检测方法
1.X射线荧光光谱法（ISO3497）测定元素组成
2.电化学阻抗谱法（ASTMG106）评估防腐性能
3.激光共聚焦显微镜（GB/T35089）分析三维形貌
4.热重分析仪（GB/T19466）测定热分解温度
5.四点探针法（GB/T1551）测量方阻值
检测设备
1.FischerXDL-B超精密测厚仪：分辨率0.01μm
2.KeysightB2902A精密源表：最小电流分辨率10fA
3.Q-FogCCT1100循环腐蚀箱：温控精度0.5℃
4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm
5.NetzschSTA449F3同步热分析仪：升温速率0.01-50K/min
6.Agilent4294A阻抗分析仪：频率范围40Hz-110MHz
7.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：测量长度175mm
8.Instron5944万能材料试验机：最大载荷50kN
9.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：1200万像素CCD
10.ThermoScientificK-AlphaXPS系统：空间分辨率7μm