检测项目
1.尺寸精度：测量公差范围0.001-0.05mm（视材料类别）
2.表面粗糙度：Ra值0.01-6.3μm区间分析
3.形位公差：平面度/圆度误差≤0.005mm
4.成分偏差：合金元素含量波动0.03wt%
5.涂层厚度：膜层均匀性误差50nm
检测范围
1.金属材料：铝合金/钛合金精密加工件
2.电子元件：PCB基板焊点/芯片引脚
3.光学元件：透镜曲率半径/镀膜均匀性
4.高分子材料：注塑件收缩变形量
5.精密机械部件：轴承滚道/齿轮啮合面
检测方法
ASTME2934-13非接触式三维扫描测量规范
ISO14253-1几何产品规范(GPS)公差验证流程
GB/T10610-2009表面粗糙度轮廓法测量规则
ISO2178:2016磁性基体非磁性涂层厚度测定
GB/T4336-2016碳素钢和中低合金钢火花源发射光谱法
检测设备
MitutoyoCRYSTA-ApexS系列三坐标测量机：空间测量精度(1.9+3L/1000)μm
TaylorHobsonPGI1240表面轮廓仪：垂直分辨率0.8nm
OlympusDSX1000数码显微镜：光学放大倍率20-7000X
BrukerContourGT-X3白光干涉仪：Z轴重复性≤0.01nm
ZeissAxioImager.M2m金相显微镜：微分干涉对比成像系统
ThermoFisherARLiSpark系列直读光谱仪：元素检出限0.001%
KeyenceLJ-V7000激光位移传感器：采样频率392kHz
HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度0.025mm
MalvernPanalyticalEmpyreanX射线衍射仪：角度分辨率0.0001
Agilent5500原子力显微镜：Z轴扫描范围15μm