检测项目

1.压电常数(d33/d31)：采用准静态法测量纵向/横向压电系数，精度1.5%FS

2.介电常数(ε_r)：测试频率1kHz-1MHz范围介电损耗角正切值(tanδ≤0.002)

3.频率温度特性：-40℃~+85℃温区内频率偏移量(10ppm/℃)

4.机械品质因数(Q_m)：谐振阻抗法测定Q值≥10,000

5.绝缘电阻：DC100V条件下电阻值≥110¹²Ω

检测范围

1.α-石英晶体(AT/SC切割片)

2.铌酸锂(LiNbO₃)单晶基片

3.锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷材料

4.声表面波(SAW)滤波器元件

5.MEMS压电传感器芯片

检测方法

ASTME2190-18压电材料介电性能测试规范

ISO17561:2016精细陶瓷压电振动特性测定

GB/T11310-2018压电晶体元件参数测量方法

IEC60444-5:2019石英晶体元件等效参数测试

GB/T3389.1-2018压电陶瓷材料性能测试通则

检测设备

1.Agilent4294A精密阻抗分析仪：10Hz-110MHz频段阻抗特性测量

2.PolytecMSA-600激光测振仪：非接触式振动模态分析

3.KeysightE4980ALLCR表：宽频介电性能测试系统

4.THERMOTRONAR-12温控箱：-70℃~+180℃温度循环系统

5.MitutoyoLSM-902S激光干涉仪：纳米级位移分辨率测量

6.NFZC-4336d33测量仪：准静态法压电系数测试装置

7.RigakuSmartLabX射线衍射仪：晶体结构取向分析

8.HIOKIIM3590化学阻抗分析仪：高阻值绝缘特性测试

9.BRUEL&KJAER4810振动激励系统：谐振频率动态响应测试

10.TektronixMDO3104混合域示波器：时频域信号联合分析