检测项目

波长稳定性：范围632.8 nm，允许偏差±0.01 nm

输出功率：额定功率0.5-50 mW，误差±2%

光束质量（M²因子）：M²≤1.1，发散角≤1.2 mrad

噪声水平：相对强度噪声（RIN）≤-120 dB/Hz

寿命测试：连续运行≥10,000小时，功率衰减≤10%

检测范围

低/中/高功率氦氖激光器（功率范围0.5-50 mW）

激光谐振腔反射镜及布儒斯特窗片

激光电源模块（输入电压12-24 V DC）

气体放电管（氦氖混合比10:1，气压300-500 Pa）

激光冷却系统（温控精度±0.5℃）

配套光电传感器（响应波长600-650 nm）

检测方法

ISO 13695:2018《光学与光子学-激光器光谱特性测试》

GB/T 15175-2012《激光辐射功率测试方法》

ASTM E490-22《激光光束发散角测量标准》

IEC 60825-1:2014《激光产品安全等级分类》

GB 7247.1-2012《激光产品的辐射安全》

检测设备

光谱分析仪（型号：Yokogawa AQ6375，波长范围350-1750 nm）

激光功率计（型号：Coherent PM30，量程10 nW-30 W）

光束质量分析仪（型号：Spiricon M2-200，分辨率1280×1024）

光电探测器（型号：Thorlabs DET36A2，带宽12 GHz）

环境试验箱（型号：Espec PL-3，温控范围-40℃~150℃）

气体质谱仪（型号：INFICON Transpector CPM，检测限0.1 ppm）