检测项目
极限真空度检测：测试泵体在稳定状态下的最低压力值，范围1×10⁻⁷~1×10⁻⁴ Pa
汞泄漏量检测：使用质谱法测定密封部位汞蒸气泄漏浓度，阈值≤0.01 μg/m³
抽气速率检测：测量单位时间内气体排出体积，标准流量范围0.5~1000 L/s
材料耐腐蚀性检测：评估汞环境下的金属失重率，年腐蚀量≤0.05 mm
运行稳定性检测：连续运行72小时，真空度波动范围±5%
检测范围
扩散型汞真空泵
分子增压汞真空泵
旋片式汞真空泵
低温冷凝汞真空泵
复合型汞真空系统
检测方法
极限真空度：ASTM E296-18《真空泵性能测试标准》
汞泄漏检测：ISO 16740:2021《工作场所汞蒸气测定方法》
抽气速率校准：GB/T 7774-2020《真空技术 容积真空泵抽速测量》
材料腐蚀试验：GB/T 10125-2021《人造气氛腐蚀试验 盐雾试验》
振动稳定性测试：ISO 10816-3:2020《机械振动评估标准》
检测设备
Agilent UHV-24高真空计：量程1×10⁻¹⁰~1×10³ Pa，精度±0.5%
INFICON HAPSITE便携式质谱仪：检测限0.001 μg/m³，响应时间≤2s
Leybold PHOENIX L300i氦质谱检漏仪：灵敏度1×10⁻¹² mbar·L/s
Edwards STP系列抽速测试系统：流量范围0.1~2000 m³/h
Q-Lab Q-FOG CRH1100循环腐蚀试验箱：温控精度±1.5℃