检测项目

极限真空度检测：基准值≤1×10⁻⁷ Pa（常温无负载）

抽气速率测试：范围10-5000 L/s（氮气介质，动态平衡法）

泄漏率检测：允许值≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（氦质谱检漏法）

振动与噪声分析：轴向振动≤2.8 μm（RMS值），声压级≤72 dB(A)

温度稳定性测试：-40℃~+80℃工况真空保持能力

检测范围

半导体制造用高纯硅片处理设备

光学镀膜真空腔体及配套系统

真空冶金炉用耐高温合金组件

科研级粒子加速器真空管路

航空航天用复合材料固化舱

检测方法

ISO 21360-3:2018 真空泵性能测试方法

ASTM F3289-18 真空系统泄漏检测标准

GB/T 3163-2007 真空技术术语与图形符号

GB/T 15487-2015 容积真空泵抽气速率测量

ISO 14644-8:2022 洁净室振动控制标准

检测设备

Agilent UHV-24 四极质谱仪：真空残余气体成分分析（量程1×10⁻¹²~1×10⁻⁴ Torr）

Leybold PHOENIX L300i 氦质谱检漏仪：最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s

INFICON CDG025D 电容薄膜规：全量程真空度测量（1×10⁻⁴~1000 mbar）

Brüel & Kjær 3560-B-030 振动分析系统：频率范围0.5 Hz~20 kHz

Weiss Umwelttechnik WK11-180 高低温试验箱：温控精度±0.5℃