检测项目

间隙原子浓度分布（测量范围：10^18-10^22 atoms/cm³，精度±3%）

气团尺寸与形貌特征（检测精度：0.1nm分辨率）

扩散激活能测定（温度范围：25-1200℃）

晶格畸变场分析（应变分辨率：0.01%）

界面偏聚效应评估（界面厚度检测范围：1-100nm）

检测范围

金属合金体系（Fe-C、Ni基高温合金等）

半导体掺杂材料（Si-Ge、GaN-AlN等）

高温防护涂层（MCrAlY、热障涂层）

核反应堆结构材料（锆合金、ODS钢）

纳米复合功能材料（石墨烯/金属基复合材料）

检测方法

原子探针层析技术（ASTM E3060-23，ISO 21368:2021）

同步辐射X射线衍射（GB/T 39489-2020，ISO 21466:2017）

正电子湮没谱分析（GB/T 41655-2022，ASTM F3389-21）

三维原子探针（3D-APT）法（ISO 16700:2020）

二次离子质谱法（SIMS）（GB/T 32281-2015，ASTM E1504-22）

检测设备

LEAP 5000 XR原子探针（三维原子分布重构，质量分辨率m/Δm≥2000）

Rigaku SmartLab X射线衍射仪（高能X射线源，角度精度±0.0001°）

CAMECA IMS 7f SIMS（深度分辨率＜1nm，检出限0.1ppb）

ORNL Positron Lab PAS系统（时间分辨率200ps，多参数符合测量）

Thermo Fisher TOF.SIMS 5（飞行时间质谱，空间分辨率50nm）