检测项目

空间分辨力：最小可分辨线对宽度（0.5-200 μm）

对比度分辨力：灰度等级识别能力（1%-99%对比度范围）

调制传递函数（MTF）：空间频率响应（0-200 lp/mm）

信噪比（SNR）：有效信号与噪声强度比（≥30 dB）

边缘锐度：10%-90%边缘响应宽度（≤5像素）

检测范围

光学元件：显微镜物镜、相机镜头、投影光刻机透镜

半导体器件：光刻掩模版、晶圆对准标记、芯片焊盘

医疗器械：内窥镜成像系统、X射线探测器、超声探头

电子显示：LCD/OLED像素阵列、AR/VR微显示屏

金属材料：精密加工表面粗糙度（Ra 0.01-0.8 μm）

检测方法

ASTM E2590-18：光学系统MTF测量标准

ISO 12233:2017：图像传感器空间频率响应测试

GB/T 17432-2022：金属材料表面形貌分析方法

GB/T 26141.1-2020：医用内窥镜分辨力测试规范

ISO 9039:2020：光学系统成像质量评价标准

检测设备

Mitutoyo QV-2010：高精度光学分辨力测试仪，配备5nm激光干涉系统

Olympus STM7：三坐标测量显微镜，支持40-1000倍变焦成像

X-Rite i1Pro 3：光谱辐射度计，测量精度±0.1ΔE

Bruker ContourGT-X8：白光干涉三维形貌分析系统，Z轴分辨率0.1nm

Image Engineering Testlab：符合ISO 12233标准的自动化图像检测平台