检测项目
表面粗糙度：Ra值≤0.01μm（局部区域≤0.02μm）
划痕等级：按MIL-PRF-13830B标准判定≤10/5级
麻点密度：直径＞0.02mm的麻点数量≤3个/cm²
面形精度：PV值＜λ/4@632.8nm
边缘崩边：崩边宽度≤0.05mm且深度＜1/3厚度
检测范围
光学玻璃：K9、H-K9L、ZF系列等牌号制品
晶体材料：CaF₂、ZnSe、Si等红外窗口片
金属基底镜片：铝基、铜基镀膜光学元件
聚合物镜片：PMMA、PC材质非球面透镜
复合镀层镜片：AR/IR/DLC功能镀层制品
检测方法
ASTM F1048-2018：表面划痕定量测量规程
ISO 10110-7:2017：光学元件表面缺陷分级标准
GB/T 1185-2006：光学零件表面疵病检验方法
ISO 12123:2021：光学玻璃毛坯表面质量规范
GB/T 2831-2009：光学零件气泡度测定方法
检测设备
Zygo NewView 9000：三维表面形貌分析（分辨率0.1nm）
Mitutoyo Surftest SJ-410：接触式粗糙度测量（Ra量程0.01-10μm）
Olympus MX63L：微分干涉显微镜（500×放大倍率）
Trioptics OptiSpheric IFR：干涉面形仪（精度λ/100 PV）
Bruker ContourGT-X3：白光干涉三维轮廓仪（垂直分辨率0.1Å）