检测项目
光学畸变:测量径向/切向畸变量(±0.5%以内)
光谱透过率:分析400-700nm波长范围的透光率(≥95%)
波前像差:PV值≤λ/4(λ=632.8nm)
表面粗糙度:Ra≤0.8nm(有效孔径80%区域)
镀膜层厚度:误差控制在±5nm(多层增透膜)
检测范围
材料类别:光学玻璃(H-K9L、ZF52)、树脂材料(CR-39、MR系列)、石英晶体
产品类型:工业相机定焦/变焦镜头、内窥镜物镜组、激光准直镜
加工阶段:粗磨成型件、抛光半成品、镀膜成品件
特殊结构:非球面透镜、自由曲面微透镜阵列
失效分析:老化雾化层、划痕损伤评估
检测方法
ASTM F733-20:光学畸变的网格投影法
ISO 10110-8:2020:表面粗糙度的白光干涉法
GB/T 26333-2010:光谱透过率的双光路比对法
ISO 10934:2021:镀膜厚度的椭圆偏振法
GB/T 16857.6-2019:波前像差的斐索干涉法
检测设备
ZYGO Verifire MST激光干涉仪:波前像差分析(精度λ/100)
PerkinElmer Lambda1050分光光度计:紫外-可见光全波段透射率测试
Mitutoyo SJ-410表面粗糙度仪:纳米级轮廓测量(0.01nm分辨率)
Nikon MM-400测量显微镜:50倍物镜下的微米级形貌观测
Bruker ContourGT-X3白光干涉仪:三维表面形貌重建(垂直分辨率0.1nm)